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  • 產品名稱：南京半導體耐腐蝕耐高溫密封件

  • 產品型號：
  • 產品廠商：其它品牌
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簡單介紹：
全氟醚橡膠能夠在260~290℃的溫度範圍內穩定工作，並且能夠間歇性地承受高達316℃的高溫。
詳情介紹：
全氟醚橡膠在半導體製造中能抵禦蝕刻液、清洗液等強腐蝕性化學藥液的侵蝕，主要以O型圈、密封圈等形式應用於半導體製造設備的真空係統和工藝腔體，能夠在高溫和等離子體環境中保持低析出、高潔淨度，避免汙染晶圓。
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