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  • 产品名称：湖北半导体蚀刻机耐高温密封圈

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简单介绍：
耐高温全氟醚橡胶密封圈是一种专为半导体制造中极端工况设计的高性能密封材料，可在300℃环境下长期运行，短期耐受温度可达330℃，压缩长久变形率在300℃下70小时后仍低于30%，显著优于普通氟橡胶。
详情介绍：
全氟醚橡胶能耐受多达1600种化学品攻击，包括酸、碱、有机溶剂等，在等离子体环境中抗颗粒生成能力强，确保密封纯净度，具备低压缩长久变形、高耐磨性和自润滑特性，减少设备维护频率，延长使用寿命，降低意外停机风险。
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