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  • 产品名称：南京半导体耐腐蚀耐高温密封件

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简单介绍：
全氟醚橡胶能够在260~290℃的温度范围内稳定工作，并且能够间歇性地承受高达316℃的高温。
详情介绍：
全氟醚橡胶在半导体制造中能抵御蚀刻液、清洗液等强腐蚀性化学药液的侵蚀，主要以O型圈、密封圈等形式应用于半导体制造设备的真空系统和工艺腔体，能够在高温和等离子体环境中保持低析出、高洁净度，避免污染晶圆。
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